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北方华创“升降针装置、半导体工艺设备及压力控制方法”专利公布

2025-01-27

北京北方华创微电子装备有限公司近日公布了一项名为“升降针装置、半导体工艺设备及压力控制方法”的专利，申请公布号为CN119230470A，公布日期为2024年12月31日。该专利涉及半导体领域，旨在解决晶圆移动及黏连等问题，对半导体制造工艺的优化具有重要意义。

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