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芯碁微装“自动曝光连线的集成粘尘装置”专利获授权
16 小时前
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来源：集微网
天眼查显示，合肥芯碁微电子装备股份有限公司近日取得一项名为“自动曝光连线的集成粘尘装置”的专利，授权公告号为CN222447558U，授权公告日为2025年2月11日，申请日为2024年5月7日。
天眼查显示，合肥芯碁微电子装备股份有限公司近日取得一项名为“自动曝光连线的集成粘尘装置”的专利，授权公告号为CN222447558U，授权公告日为2025年2月11日，申请日为2024年5月7日。
本实用新型公开了一种自动曝光连线的集成粘尘装置，包括：移载机、安装座和粘尘机，移载机的一侧设有第一进口，安装座设于移载机的一侧，粘尘机连接于安装座上，粘尘机的相对两侧设有第二进口和第二出口，第二出口与第一进口相对设置，且第二出口和第一进口处于同一水平面上。这样，通过在移载机上设有安装座，以让安装座能够与粘尘机进行连接，以让粘尘机上的第二出口能够与移载机上的第一进口处于同一水平面内，以让粘尘机在对基板进行除尘后能够直接将基板输入到移载机内以进行曝光生产，以让进入移载机内进行后续工序的基板具有更高的洁净度，从而提升自动曝光连线的集成粘尘装置的生产良品率，还能便于粘尘机与移载机之间的定位组装。
