我国国产 DUV 光刻机迎来里程碑式进步,套刻≤8nm
2024-09-15

工业和信息化部发布《首台(套)重大技术装备推广应用指导目录(2024年版)》,列入国产氟化氪和氟化氩光刻机,分别适用于110nm和65nm制程芯片生产。这些设备代表了中国在光刻机领域的技术突破,对实现芯片制造自主可控具有重要意义。