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华海清科“一种晶圆擦洗设备、晶圆擦洗系统和抛光设备”专利公布

18 小时前

华海清科股份有限公司公布了一项名为“一种晶圆擦洗设备、晶圆擦洗系统和抛光设备”的专利，申请公布号为CN119542201A，公布日期为2025年2月28日。该专利通过磁吸模块和伸缩模块的设置，实现了擦洗刷与调控模块间的柔性磁吸连接，能在擦洗过程中保持擦洗刷向晶圆表面施加的压力恒定。

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