ASML推出High NA EUV乐高套装 851个零件复刻全球最贵光刻机
2024-12-03

ASML近日在官网纪念品商城推出High NA EUV光刻系统TWINSCAN EXE:5000的乐高模型套装,由员工兼乐高爱好者Rick Lenssen设计,含851个零件,精确复刻原机外观,定价227.95美元(约1653元人民币)。该光刻机是全球首款采用0.55NA数值孔径的机型,单价高达3.5亿欧元。