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北方华创“晶舟结构、半导体热处理设备及其控制方法”专利公布

18 小时前

北京北方华创微电子装备有限公司公布“晶舟结构、半导体热处理设备及其控制方法”专利，申请公布号为CN119542208A，公布日期为2025年2月28日。该专利涉及半导体技术领域，旨在优化晶舟结构及热处理设备的控制方法，以提升半导体工艺效率和产品质量。

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