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声芯电子“一种声表滤波器的压电晶圆切割方法”专利公布
18 小时前
苏州声芯电子科技有限公司公布了一项名为“一种声表滤波器的压电晶圆切割方法”的专利，申请公布号为CN119543865A，公布日期为2025年2月28日。该方法包括在压电晶圆正面设置金属叉指电路、涂抹保护胶、贴覆背面保护膜、正面切割形成井字形切割槽，最后去除保护胶和保护膜，以减少边缘反射能量。
