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中国科学院成功研发全固态 DUV 光源技术
2025-03-25
中国科学院研究人员成功研发出一种紧凑型固态深紫外激光系统，能生成193nm相干光，平均功率达70mW。该系统采用四次谐波和频率混合技术，并首次实现固态激光中193nm涡旋光束的产生。此成果对半导体光刻、晶圆加工及缺陷检测领域具有重要意义。
