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中国科学院微电子所在人工智能工艺器件建模方面取得重要进展
2025-02-12
随着集成电路特征尺寸不断缩小，工艺和器件模拟的计算复杂度大幅提升，传统物理建模方法已难以满足大规模仿真和快速迭代需求。因此，亟需引入前沿人工智能技术，开发高效仿真模型，以支撑先进工艺参数优化和新型器件设计。
