搜索
ASML将发货最新EUV光刻机EXE:5200 英特尔是买家
4 天前
ASML公司近日确认，其最新款EUV光刻机EXE:5200即将出货。作为EXE:5000的升级版，EXE:5200性能更为强悍，晶圆吞吐量较前者每小时185片以上有所提升，能更好地支撑2nm工艺的量产。然而，ASML已明确表示不会向中国厂商出售此款光刻机。EXE:5200与EXE:5000均采用了0.55的数值孔径，相较于前代EUV光刻机的0.33数值孔径，这一改进显著提高了精度，能够为更小的晶体管功能提供更高分辨率的模式。这一技术突破对于推动半导体工艺技术的进一步发展具有重要意义。
