1.北方华创“一种进气管的清洗方法及半导体工艺设备”专利公布
2.华海清科“驱动机构的保湿控制方法、晶圆清洗装置、存储介质”专利公布
3.安路科技“基于标准延迟单元的DDR读数据眼图训练系统、方法及介质”专利公布
4.华润微“一种逆导型LIGBT器件及其制备方法”专利公布
5.宁德时代“电池单体、电池及用电装置”专利公布
1.北方华创“一种进气管的清洗方法及半导体工艺设备”专利公布
天眼查显示,北京北方华创微电子装备有限公司“一种进气管的清洗方法及半导体工艺设备”专利公布,申请公布日为2024年9月24日,申请公布号为CN118692884A。
本申请公开了一种进气管的清洗方法及半导体工艺设备,进气管作为等离子体发生腔,并用于向工艺腔室通入等离子体以对晶圆进行工艺,清洗方法包括:在每完成预设数量的晶圆的工艺后,向进气管通入第一清洗气体,并加载射频功率以激发第一清洗气体;控制进气管内的气压在第一预设压力维持第一预设时间,以及在第二预设压力维持第二预设时间,第一预设压力与第二预设压力的比值大于等于6且小于等于14,第一预设时间与第二预设时间的比值大于等于0.5且小于等于2。本申请通过对进气管进行批次间清洗,可以对杂质颗粒进行清洗,避免产生花状缺陷,由于析晶得到及时清洗,不需要经常停机更换进气管,延长了进气管的寿命,成本降低,提高了生产率。
2.华海清科“驱动机构的保湿控制方法、晶圆清洗装置、存储介质”专利公布
天眼查显示,华海清科股份有限公司“驱动机构的保湿控制方法、晶圆清洗装置、存储介质”专利公布,申请公布日为2024年9月24日,申请公布号为CN118692981A。
本申请提供了一种驱动机构的保湿控制方法、晶圆清洗装置、存储介质,驱动机构的保湿控制方法包括:确定轮体的状态,轮体的状态包括工作状态和待机状态;若轮体处于工作状态,控制流体以第一保湿模式流入第一流道,以对轮体进行保湿;若轮体处于待机状态,控制流体以第二保湿模式流入第一流道,以对轮体进行保湿,其中,第一保湿模式与第二保湿模式不同。本申请通过驱动机构的旋转轴内部的第一流道向轮体内部的第二流道输送流体,流体从轮体的外缘流出,对晶圆与轮体的接触位置进行清洗,避免晶圆边缘出现磨损或污染;针对轮体的不同工作状态,灵活切换不同的保湿模式,无需单独对轮体进行喷淋保湿,节约流体用量。
3.安路科技“基于标准延迟单元的DDR读数据眼图训练系统、方法及介质”专利公布
天眼查显示,上海安路信息科技股份有限公司“基于标准延迟单元的DDR读数据眼图训练系统、方法及介质”专利公布,申请公布日为2024年9月24日,申请公布号为CN118689804A。
本发明提供一种基于标准延迟单元的DDR读数据眼图训练系统、方法及介质,包括DDR训练控制模块和IO模块,DDR训练控制模块包括命令生成子模块、延迟控制子模块、读数据判断子模块;IO模块包括门控逻辑子模块、第一延迟子模块、第二延迟子模块和数据采样子模块;命令生成子模块发送写命令和读命令,并生成对应的信号;IO模块用于选通RDQS_T信号,并对RDQS_T信号和RDQ信号进行延迟处理,以及对延迟处理后的RDQ信号进行采样;读数据判断子模块判断RDQ信号是否正确;延迟控制子模块调整RDQS信号和RDQ信号所经过的SDL单元和CDL单元的数量,直至使RDQS信号相对于RDQ信号位置落入目标区间。该方法能够减小延迟单元配置的绝对值,提高系统稳定性。
4.华润微“一种逆导型LIGBT器件及其制备方法”专利公布
天眼查显示,华润微电子(重庆)有限公司“一种逆导型LIGBT器件及其制备方法”专利公布,申请公布日为2024年9月24日,申请公布号为CN118693138A。
本发明提供一种逆导型LIGBT器件及其制备方法,该LIGBT器件包括半导体结构、发射极结构、集电极结构、栅结构及MOS结构,其中,半导体结构包括衬底、介电层及外延层;发射极结构包括基区、发射区及第一接触区;集电极结构包括第一、二缓冲区及集电区,基区与第一缓冲区之外的外延层作为漂移区;栅结构位于基区上表面;MOS结构包括浮空接触区、第二接触区、隔离层及二极管结构,浮空接触区位于外延层上表层,第二接触区位于第二缓冲区上表层,隔离层位于第二接触区与浮空接触区之间的外延层上表面,二极管结构包括位于隔离层上的阴极接触区及阳极接触区。本发明通过MOS结构的设置,避免了集电极电压折回现象,提升了器件的性能。
5.宁德时代“电池单体、电池及用电装置”专利公布
天眼查显示,宁德时代新能源科技股份有限公司“电池单体、电池及用电装置”专利公布,申请公布日为2024年9月24日,申请公布号为CN118696449A。
本申请公开了一种电池单体、电池及用电装置。电池单体包括外壳、电极组件、检测组件和防护组件,其中,外壳具有容纳腔,电极组件容纳于容纳腔内,检测组件连接于外壳并用于检测电池单体的工作状态,防护组件凸出于外壳并与检测组件同侧设置,以防护检测组件。通过本申请实施例能够有效提升电池单体的安全性和可靠性。