芯导电子 “SGTMOS管的器件结构制备方法”专利获授权
2025-10-31

天眼查信息显示,上海芯导电子科技股份有限公司于2025年9月26日获得一项发明专利授权,专利名称为“SGTMOS管的器件结构制备方法”,专利申请号为CN202411442909.2,申请日为2024年10月15日。该专利通过在外延层表面和第一凹槽侧壁依次形成第一热氧化层、隔离层和沟槽氧化层,并在满足沟槽侧壁氧化层厚度要求的基础上,对第一热氧化层厚度进行减薄处理,以减少对外延层的消耗,从而提高SGT管的耐压性能。此外,该专利还通过设置隔离层,使第一多晶硅层突出部分表面的栅间氧化层可按需求厚度生成,从而降低SGT管的栅源电容。今年以来,芯导科技已新获得14项专利授权,较去年同期增长133.33%。

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